|
การพัฒนาเครื่องกัดผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมาสำหรับผลิตอุปกรณ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริก ( Development of surface dry etching system under vacuum pressure by microwave plasma for fabricating of thermoelectric |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การพัฒนาเครื่องกัดผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมาสำหรับผลิตอุปกรณ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริก ( Development of surface dry etching system under vacuum pressure by microwave plasma for fabricating of thermoelectric generator ) |
| Creator | ชูพงษ์ ภาคภูมิ |
| Contributor | หัวหน้าโครงการ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยแม่โจ้ |
| Publication Year | 2560 |
| Keyword | เทคโนโลยีพลาสมา; การกัด; ไมโครเวฟพลาสมา; ความดันสุญญากาศ; เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริกplasma technology; dry etching; microwave plasma; vacuum pressure; thermoelectri generator |
