ชูพงษ์ ภาคภูมิ และ หัวหน้าโครงการ. (2560) การพัฒนาเครื่องกัดผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมาสำหรับผลิตอุปกรณ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริก (<p>Development of surface dry etching system under vacuum pressure by microwave plasma for fabricating of thermoelectric &nbsp;generator</p>). มหาวิทยาลัยแม่โจ้:ม.ป.ท.ชูพงษ์ ภาคภูมิ และ หัวหน้าโครงการ. 2560. การพัฒนาเครื่องกัดผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมาสำหรับผลิตอุปกรณ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริก (<p>Development of surface dry etching system under vacuum pressure by microwave plasma for fabricating of thermoelectric &nbsp;generator</p>). ม.ป.ท.:มหาวิทยาลัยแม่โจ้;ชูพงษ์ ภาคภูมิ และ หัวหน้าโครงการ. การพัฒนาเครื่องกัดผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมาสำหรับผลิตอุปกรณ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริก (<p>Development of surface dry etching system under vacuum pressure by microwave plasma for fabricating of thermoelectric &nbsp;generator</p>). ม.ป.ท.:มหาวิทยาลัยแม่โจ้, 2560. Print.