|
การเคลือบฟิล์มบางอะลูมิเนียมออกไซด์ด้วยวิธีดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบรีแอกทีฟ /พัฒนา เทพชโลธร |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การเคลือบฟิล์มบางอะลูมิเนียมออกไซด์ด้วยวิธีดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบรีแอกทีฟ / |
| Creator | พัฒนา เทพชโลธร |
| Publisher | มหาวิทยาลัยศิลปากร, |
| Publication Year | 2548 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, ดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบรีแอกทีฟ |
| ISBN | 974-11-6152-2 |
