|
การศึกษาความเป็นไปได้ในการสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจรขั้นตอนเดียวโดยใช้กระจกต้นแบบชนิดความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การศึกษาความเป็นไปได้ในการสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจรขั้นตอนเดียวโดยใช้กระจกต้นแบบชนิดความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ |
| Creator | นิธิ อัตถิ |
| Contributor | จักรพันธ์ อร่ามพงษ์พันธ์, |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์, |
| Publication Year | 2551 |
| Keyword | วิศวกรรมเครื่องกล, กระจก |
