![]() |
การศึกษาสมบัติของฟิล์มบางนิกเกิล ที่เคลือบด้วยวิธีระเหยสาร ด้วยลำอิเล็กตรอนดีซีสปัตเตอริงและอาร์เอฟสปัตเตอริง /พนม กาศรุณ |
---|---|
รหัสดีโอไอ | |
Title | การศึกษาสมบัติของฟิล์มบางนิกเกิล ที่เคลือบด้วยวิธีระเหยสาร ด้วยลำอิเล็กตรอนดีซีสปัตเตอริงและอาร์เอฟสปัตเตอริง / |
Creator | พนม กาศรุณ |
Publisher | มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์, |
Publication Year | 2550 |
Keyword | ฟิล์มบาง, นิเกิล, ดีซีสปัตเตอริง, อาร์เอฟสปัตเตอริง, การเคลือบฟิล์ม |