|
ระบบสุญญากาศขนาดเล็กสำหรับการสปัตเตอริงและการระเหยสาร /สนอง กลิ่นเกษร |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | ระบบสุญญากาศขนาดเล็กสำหรับการสปัตเตอริงและการระเหยสาร / |
| Creator | สนอง กลิ่นเกษร |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี, |
| Publication Year | 2553 |
| Keyword | การสปัตเตอริง, การระเหยสาร, ระบบสุญญากาศ |