|
การศึกษาฟิล์มบางอลูมิเนียมออกไซด์ โดยการเตรียมด้วยวิธีรีแอคทีฟ ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริง /สมพร เบ็ญจะขันธ์ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การศึกษาฟิล์มบางอลูมิเนียมออกไซด์ โดยการเตรียมด้วยวิธีรีแอคทีฟ ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริง / |
| Creator | สมพร เบ็ญจะขันธ์ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี, |
| Publication Year | 2552 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, แอคทีฟ ดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริง, การส่องผ่านของแสง |
