|
การศึกษาฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไนไตรด์ โดยการเตรียมด้วยวิธี รีแอคทีฟ ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริง /ภัทริณี คลุมดวง |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การศึกษาฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไนไตรด์ โดยการเตรียมด้วยวิธี รีแอคทีฟ ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริง / |
| Creator | ภัทริณี คลุมดวง |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี, |
| Publication Year | 2552 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, เซอร์โคเนียมไนไตรด์, รีแอคทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง |
