|
การปรับตั้งพารามิเตอร์ที่เหมาะสม ในกระบวนการเคลือบฟิล์มบนแผ่นเวเฟอร์ /รัตนพันธุ์ นพเก้า |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การปรับตั้งพารามิเตอร์ที่เหมาะสม ในกระบวนการเคลือบฟิล์มบนแผ่นเวเฟอร์ / |
| Creator | รัตนพันธุ์ นพเก้า |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี, |
| Publication Year | 2551 |
| Keyword | พารามิเตอร์, การเคลือบฟิล์ม, แผ่นเวเฟอร์ |
