|
การศึกษาการเคลือบฟิล์มบางโดยวิธี ดีซีพัลส์ สปัตเตอร์ริง เพื่อเพิ่มสมบัติการต้านทานรอยขีดข่วน ของฟิล์มบาง TiO2/Ag/Ti/TiO2/Si3N4 /ฉันทนา สาลวัน |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การศึกษาการเคลือบฟิล์มบางโดยวิธี ดีซีพัลส์ สปัตเตอร์ริง เพื่อเพิ่มสมบัติการต้านทานรอยขีดข่วน ของฟิล์มบาง TiO2/Ag/Ti/TiO2/Si3N4 / |
| Creator | ฉันทนา สาลวัน |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี, |
| Publication Year | 2548 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, การเคลือบฟิล์ม, ซิลิกอนไนไตรด์, สปัตเตอริง [ฟิสิกส์] |
| ISBN | 974-184-899-4 |
