|
การสร้างเซนเซอร์วัดแรงแบบเพียโซรีซิสทีฟชนิดฟิล์มบาง ด้วยกระบวนการไมโครแมชชีนนิ่ง /ณัฐพล พูนนิกร |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การสร้างเซนเซอร์วัดแรงแบบเพียโซรีซิสทีฟชนิดฟิล์มบาง ด้วยกระบวนการไมโครแมชชีนนิ่ง / |
| Creator | ณัฐพล พูนนิกร |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี, |
| Publication Year | 2548 |
| Keyword | เซนเซอร์วัดแรง, เพียโซรีซิสทีฟ, ไมโครแมชชีนนิ่ง, ฟิล์มบาง |
| ISBN | 974-185-177-4 |
