|
การศึกษาวิเคราะห์ฟิล์มบางไททาเนียมไนไตรด์เคลือบด้วยวิธีสปัตเตอริง /นิตินัย อุดมกัน |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การศึกษาวิเคราะห์ฟิล์มบางไททาเนียมไนไตรด์เคลือบด้วยวิธีสปัตเตอริง / |
| Creator | นิตินัย อุดมกัน |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี, |
| Publication Year | 2546 |
| Keyword | ไทเทเนียมไนไตรด์, สปัตเตอริง [ฟิสิกส์], ฟิล์มบาง |
| ISBN | 974-456-388-5 |