|
การศึกษาความต้านทานของฟิล์มโพลีซิลิคอนและอมรร์ฟัสซิลิคอน หลังกระบวนการยิงฝังประจุ เพื่อใช้ในอุปกรณ์ตรวจจับความดัน /การุณ แซ่จอก |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การศึกษาความต้านทานของฟิล์มโพลีซิลิคอนและอมรร์ฟัสซิลิคอน หลังกระบวนการยิงฝังประจุ เพื่อใช้ในอุปกรณ์ตรวจจับความดัน / |
| Creator | การุณ แซ่จอก |
| Publisher | สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง, |
| Publication Year | 2550 |
| Keyword | ฟิล์มโพลิซิลิกอน, อุปกรณ์ตรวจจับความดัน, อะมอร์ฟัสซิลิกอน |