|
การศึกษาความสะอาดของพื้นผิวซิลิกอนด้วยเทคนิคโอเจอิเล็กตรอนสเปกโทรสโกปี /ณัฐรดา โยธาคำ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การศึกษาความสะอาดของพื้นผิวซิลิกอนด้วยเทคนิคโอเจอิเล็กตรอนสเปกโทรสโกปี / |
| Creator | ณัฐรดา โยธาคำ |
| Publisher | สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง, |
| Publication Year | 2549 |
| Keyword | ซิลิกอน, โอเจอิเล็กตรอนสเปกโทรสโกปี |