|
กระบวนการโฟโตลิโธกราฟีสำหรับสร้างลวดลายขนาด 5 ไมครอน บนซิลิคอนไดออกไซด์และอะลูมิเนียม /ชลิดา คูหาเรือง |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | กระบวนการโฟโตลิโธกราฟีสำหรับสร้างลวดลายขนาด 5 ไมครอน บนซิลิคอนไดออกไซด์และอะลูมิเนียม / |
| Creator | ชลิดา คูหาเรือง |
| Publisher | สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง, |
| Publication Year | 2547 |
| Keyword | วงจรรวม, โฟโตลิโทกราฟี, ซิลิกา |
| ISBN | 974-15-1187-6 |