|
การสร้างอาเรย์ของเซ็นเซอร์สัมผัสแบบเพียโซรีซีสทีพ โดยเทคโนโลยีระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค และกระบวนการของ Bulk-Etched MUMPs /ถนอม โลมาศ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การสร้างอาเรย์ของเซ็นเซอร์สัมผัสแบบเพียโซรีซีสทีพ โดยเทคโนโลยีระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค และกระบวนการของ Bulk-Etched MUMPs / |
| Creator | ถนอม โลมาศ |
| Publisher | สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง, |
| Publication Year | 2547 |
| Keyword | เซนเซอร์สัมผัส, ระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค |
| ISBN | 974-9709-46-2 |