![]() |
การปลูกผลึกระดับนาโนเมตรของอลูมินัมไนไตรด์ โดยอาร์ เอฟ แมกนิตรอนสปัตเตอริง แบบควบคุมเวลาก๊าซไวปฏิกิริยา /วิน บรรจงปรุ |
---|---|
รหัสดีโอไอ | |
Title | การปลูกผลึกระดับนาโนเมตรของอลูมินัมไนไตรด์ โดยอาร์ เอฟ แมกนิตรอนสปัตเตอริง แบบควบคุมเวลาก๊าซไวปฏิกิริยา / |
Creator | วิน บรรจงปรุ |
Publisher | สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง, |
Publication Year | 2546 |
Keyword | ฟิล์มบาง, สารประกอบ, สารกึ่งตัวนำ, อะลูมินัมไนไตรด์ |
ISBN | 974-324-241-4 |