|
การเคลือบฟิล์มบางด้วยวิธี ดี.ซี. พลานา แมกนิตรอน สปัตเตอริง /โชคชัย หาญธนชาติ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การเคลือบฟิล์มบางด้วยวิธี ดี.ซี. พลานา แมกนิตรอน สปัตเตอริง / |
| Creator | โชคชัย หาญธนชาติ |
| Publisher | สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง, |
| Publication Year | 2540 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, สปัตเตอริง [ฟิสิกส์] |
| ISBN | 974-621-971-5 |