|
การปลูกและวัดสมบัติฟิล์มบางเพียโซอิเล็กทริกอลูมิเนียมไนไตรด์ที่เตรียมด้วย วิธีรีแอกทีฟอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงบนฐานรองรับพลาสติก PET |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การปลูกและวัดสมบัติฟิล์มบางเพียโซอิเล็กทริกอลูมิเนียมไนไตรด์ที่เตรียมด้วย วิธีรีแอกทีฟอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงบนฐานรองรับพลาสติก PET |
| Creator | ทิพวรรณ คล้ายบุญมี |
| Contributor | วราวุฒิ เถาลัดดา |
| Publisher | สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง |
| Publication Year | 2558 |
| Keyword | ฟิล์มบางอลูมิเนียมไนไตรด์, รีแอกทีฟอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง |