|
อิทธิพลของกระบวนการดีซีแมกนีตรอนสปัสเตอริงที่มีต่อสมบัติเชิงโครงสร้างและ สมบัติแม่เหล็กของฟิล์มบาง CoFeB |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | อิทธิพลของกระบวนการดีซีแมกนีตรอนสปัสเตอริงที่มีต่อสมบัติเชิงโครงสร้างและ สมบัติแม่เหล็กของฟิล์มบาง CoFeB |
| Creator | ราชศักดิ์ ศักดานุภาพ |
| Publisher | สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง |
| Publication Year | 2556 |
| Keyword | ฟิล์มบาง CoFeB, ความต้านทานไฟฟ้า |