|
การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง /วราวุฒิ เถาลัดดา |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง / |
| Creator | วราวุฒิ เถาลัดดา |
| Publisher | คณะวิทยาศาสตร์ สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง, |
| Publication Year | 2553 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, อาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง, แคโทด |