|
การสังเคราะห์ฟิล์มเพชรด้วยเทคนิคการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่ไมโครเวฟ /วิชาญ เตชิตธีระ, วราวุฒิ เถาลัดดา |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การสังเคราะห์ฟิล์มเพชรด้วยเทคนิคการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่ไมโครเวฟ / |
| Creator | วิชาญ เตชิตธีระ |
| Contributor | วราวุฒิ เถาลัดดา |
| Publisher | คณะวิทยาศาสตร์ สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง, |
| Publication Year | 2553 |
| Keyword | ฟิล์มเพชร, พลาสมา, ความถี่ไมโครเวฟ |