|
การหาสภาวะที่เหมาะสมของกระบวนการการเคลือบฟิล์มบาง โดยการใช้วิธีการซิกซ์ซิกม่า /ปฐม์พงศ์ พันธ์พิบูลย์ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การหาสภาวะที่เหมาะสมของกระบวนการการเคลือบฟิล์มบาง โดยการใช้วิธีการซิกซ์ซิกม่า / |
| Creator | ปฐม์พงศ์ พันธ์พิบูลย์ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยขอนแก่น, |
| Publication Year | 2552 |
| Keyword | การเคลือบฟิล์มบาง, ซิกส์ซิกม่า, โมลิบดีนัมไตรออกไซด์, อาร์เอฟรีแอคทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง |
