![]() |
การศึกษาการผลิตอุปกรณ์ก๊าซเซนเซอร์ด้วยวัสดุโมลิบดินัมไตรออกไซด์โดยใช้วิธีสปัตเตอริง /ชาญณรงค์ สายแก้ว, สุจินต์ บุรีรัตน์, อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ |
---|---|
รหัสดีโอไอ | |
Title | การศึกษาการผลิตอุปกรณ์ก๊าซเซนเซอร์ด้วยวัสดุโมลิบดินัมไตรออกไซด์โดยใช้วิธีสปัตเตอริง / |
Creator | ชาญณรงค์ สายแก้ว |
Contributor | สุจินต์ บุรีรัตน์, อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ |
Publisher | ภาควิชาวิศวกรรมอุตสาหการ มหาวิทยาลัยขอนแก่น, |
Publication Year | 2552 |
Keyword | ฟิล์มบาง, โมลิบดินัมไตรออกไซด์, ก๊าซเซ็นเซอร์, อาร์เอฟรีแอกทีฟสปัตเตอริง |