|
การศึกษาการผลิตอุปกรณ์ก๊าซเซนเซอร์ด้วยวัสดุโมลิบดินัมไตรออกไซด์โดยใช้วิธีสปัตเตอริง /ชาญณรงค์ สายแก้ว, สุจินต์ บุรีรัตน์, อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การศึกษาการผลิตอุปกรณ์ก๊าซเซนเซอร์ด้วยวัสดุโมลิบดินัมไตรออกไซด์โดยใช้วิธีสปัตเตอริง / |
| Creator | ชาญณรงค์ สายแก้ว |
| Contributor | สุจินต์ บุรีรัตน์, อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ |
| Publisher | ภาควิชาวิศวกรรมอุตสาหการ มหาวิทยาลัยขอนแก่น, |
| Publication Year | 2552 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, โมลิบดินัมไตรออกไซด์, ก๊าซเซ็นเซอร์, อาร์เอฟรีแอกทีฟสปัตเตอริง |
