|
การพัฒนาระบบแม่เหล็กสำหรับเครื่องกำเนิดพลาสมาแบบอิเล็กตรอนไซโคลตรอนเรโซแนนซ์ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การพัฒนาระบบแม่เหล็กสำหรับเครื่องกำเนิดพลาสมาแบบอิเล็กตรอนไซโคลตรอนเรโซแนนซ์ |
| Creator | เกรียงไกร ภูวดลกิจ |
| Contributor | พงษ์แพทย์ เพ่งวาณิชย์ |
| Publisher | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย |
| Publication Year | 2558 |
| Keyword | แหล่งกำเนิดอิเล็กตรอนไซโคลตรอนเรโซแนนซ์, เครื่องกำเนิดพลาสมา, Electron cyclotron resonance sources, Plasma generators |
| Abstract | งานวิจัยนี้เป็นการออกแบบพัฒนาเครื่องกำเนิดพลาสมาแบบอิเล็กตรอนไซโคลตรอนเรโซแนนซ์ (ECR) เพื่อนำไปใช้เคลือบอนุภาคโลหะลงบนผิวชิ้นงานต่างๆ ซึ่งคุณสมบัติเด่นของเทคนิคอิเล็กตรอนไซโคลตรอนเรโซแนนซ์ คือมีการไอออไนเซชันสูงและให้ความหนาแน่นพลาสมาสูง เป็นการพัฒนาต่อยอดจากเครื่องกำเนิดแบบไมโครเวฟอิเล็กตรอนที่มีอยู่ โดยออกแบบแม่เหล็กถาวรชนิดนีโอดีเมียมเกรด N35 เพื่อติดตั้งกับกระบอกสุญญากาศส่วนบนซึ่งทำหน้าที่เป็นท่อนำคลื่นทรงกระบอกโหมด TE11 มีความหนาแน่นเส้นแรงแม่เหล็ก 875 เกาส์อยู่ตรงจุดศูนย์กลาง ซึ่งอยู่ภายในขอบเขตที่มีความเข้มสนามไฟฟ้าของคลื่นไมโครเวฟมากที่สุดสำหรับโหมด TE11 ผลการทดสอบเคลือบอนุภาคทองแดงลงบนชิ้นงานอลูมิเนียมเกรด 6061 ใช้กำลังคลื่นไมโครเวฟ 700W นาน 15 นาที ที่ความดัน 5x10-1 Torr ปรับแรงดันไฟฟ้าไบอัสวัสดุเป้าระหว่าง 500 ถึง 1200 โวลต์ พบว่าปริมาณเปอร์เซ็นต์ของทองแดงเพิ่มขึ้นเมื่อแรงดันไฟฟ้าเพิ่มขึ้น และเมื่อทดลองโดยการใช้แรงดันไฟฟ้าไบอัสอย่างเดียวและใช้คลื่นไมโครเวฟร่วมด้วยเปรียบเทียบกับการใช้อิเล็กตรอนไซโคลตรอนเรโซแนนซ์ พบว่าการใช้อิเล็กตรอนไซโคลตรอนเรโซแนนซ์ให้ผลการเคลือบและปริมาณเปอร์เซ็นต์ของทองแดงดีขึ้น |
| URL Website | cuir.car.chula.ac.th |
