|
การปรับเปลี่ยนกระบวนการตั้งค่าพารามิเตอร์ที่เหมาะสมในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การปรับเปลี่ยนกระบวนการตั้งค่าพารามิเตอร์ที่เหมาะสมในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ |
| Creator | ศิริวรรณ ศุภโรจน์ |
| Contributor | จิตรา รู้กิจการพานิช |
| Publisher | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย |
| Publication Year | 2556 |
| Keyword | สารกึ่งตัวนำ -- การผลิต, แว่นผลึกสารกึ่งตัวนำ, อุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำ -- การควบคุมการผลิต, Semiconductors, Semiconductor wafers, Semiconductor industry -- Production control |
| Abstract | งานวิจัยนี้มุ่งเน้นที่จะปรับปรุงกระบวนการตั้งค่าพารามิเตอร์ที่เหมาะสมสำหรับกระบวนการตัดไดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพื่อทำให้กระบวนการตั้งค่าพารามิเตอร์ง่ายขึ้น และลดความผิดพลาดที่เกิดจากการตั้งค่าพารามิเตอร์ กระบวนการตัดไดเป็นการตัดแผ่นเวเฟอร์ออกเป็นชิ้น ๆ เพื่อใช้ในกระบวนการถัดไป ซึ่งพบว่ามีจำนวนของเสียจากกระบวนการตัดไดเพิ่มขึ้นและส่งผลกระทบต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ โดยของเสียดังกล่าวเกิดจากกระบวนการตั้งค่าพารามิเตอร์ผิดของช่างเทคนิค เมื่อทำการวิเคราะห์หาสาเหตุด้วยเทคนิค why-why analysis พบว่าสาเหตุหลักของการตั้งค่าพารามิเตอร์ผิดของช่างเทคนิคคือ 1) ขาดความระมัดระวัง ความรอบคอบ 2) ไม่เอาใจใส่ในการเลือกใช้พารามิเตอร์ 3) มีขั้นตอนการตั้งค่าพารามิเตอร์ที่กำหนดให้ช่างเทคนิคเป็นผู้ตัดสินใจจำนวนมากถึง 13 ขั้นตอน ดังนั้นงานวิจัยนี้จึงมุ่งเน้นที่จะปรับเปลี่ยนกระบวนการตั้งค่าพารามิเตอร์ใหม่ โดยการลดขั้นตอนให้น้อยลงและง่ายขึ้น ด้วยการใช้คลังโปรเเกรม (Saw Library) ซึ่งเป็นเครื่องมือสำคัญในการปรับปรุงกระบวนการปรับตั้งค่าพารามิเตอร์ โดยหลักการทำงานของคลังโปรเเกรมคือ ช่างเทคนิคทำการป้อนรหัสแท่งหรือบาร์โค้ดจากใบสั่งงาน จากนั้นข้อมูลพารามิเตอร์ต่าง ๆ ที่เก็บไว้ในคลังโปรเเเกรมจะถูกดึงขึ้นมาใช้ จากการทดลองเป็นระยะเวลา 4 เดือนพบว่าสามารถลดขั้นตอนจาก 13 ขั้นตอนเหลือ 3 ขั้นตอน และสามารถลดความผิดพลาดที่เกิดจากการตั้งค่าพารามิเตอร์ผิดของคนได้จาก 31 ครั้งเป็น 3 ครั้งในเวลา 4 เดือน คิดเป็น 93.55% และสามารถลดจำนวนของเสียจาก 4,810 ตัวเป็น 911 ตัว คิดเป็น 81.06% |
| URL Website | cuir.car.chula.ac.th |
