|
สมบัติเชิงโครงสร้าง และความแข็งระดับนาโนของฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไททาเนียมไนไทร์ดที่ปลูกโดยวิธีดีซีรีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริง /สตรีรัตน์ กำแพงแก้วโฮดัค, สุคคเณศ ตุงคะสมิต, ทีโม เซปปาเนน |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | สมบัติเชิงโครงสร้าง และความแข็งระดับนาโนของฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไททาเนียมไนไทร์ดที่ปลูกโดยวิธีดีซีรีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริง / |
| Creator | สตรีรัตน์ กำแพงแก้วโฮดัค |
| Contributor | สุคคเณศ ตุงคะสมิต, เซปปาเนน, ทีโม |
| Publisher | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, |
| Publication Year | 2551 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, เซอร์โคเนียมไทเทเนียมไนไตรด์, แมกนีตรอนสปัตเตอริง, การปลูกฟิล์ม, ไอออนช่วย |
