|
ผลของกระแสโครเมียมคาโทดที่มีต่อสมบัติของฟิล์มบางไทเทเนียมโครเมียมไนไตรด์ ที่เคลือบด้วยเทคนิครีแอกทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | ผลของกระแสโครเมียมคาโทดที่มีต่อสมบัติของฟิล์มบางไทเทเนียมโครเมียมไนไตรด์ ที่เคลือบด้วยเทคนิครีแอกทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง |
| Creator | นิรันดร์ วิทิตอนันต์ |
| Contributor | สุรสิงห์ ไชยคุณ, อดิศร บูรณวงศ์ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยบูรพา |
| Publication Year | 2557 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, ไทเทเนียมโครเมียมไนไตรด์, กระแสสปัตเตอริง |
