![]() |
เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ |
---|---|
รหัสดีโอไอ | |
Title | เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ |
Creator | สุรสิงห์ ไชยคุณ |
Contributor | นิรันดร์ วิทิตอนันต์ |
Publisher | มหาวิทยาลัยบูรพา |
Publication Year | 2556 |
Keyword | เครื่องเคลือบในสุญญากาศ, ระบบระเหยสาร, ฟิล์มบางอะลูมิเนียม, ฟิล์มบางนาโน |