|
กระบวนการผลิตที่รวดเร็วและประหยัดสำหรับไมโครแอคชัวเอเตอร์เชิงความร้อน |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | กระบวนการผลิตที่รวดเร็วและประหยัดสำหรับไมโครแอคชัวเอเตอร์เชิงความร้อน |
| Creator | อิทธิพล เจริญบุญญาฤทธิ์ |
| Contributor | วีระยุทธ ศรีธุระวานิช และ อลงกรณ์ พิมพ์พิณ |
| Publisher | สมาคมวิศวกรเครื่องกลไทย |
| Publication Year | 2557 |
| Keyword | แอคชัวเอเตอร์เชิงความร้อน, กระบวนการไฟฟ้าเคมี, นิกเกิล, กระบวนการสร้างชิ้นงานระดับจุลภาค, โฟโต้ลิซิสแบบแห้ง |
