|
การฝังอนุภาคนาโนซิลิกอนลงในวัสดุที่มีค่าคงคัวไดอิเล็กทริกสูง Integration of Silicon nanoparticles in high-k materials |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การฝังอนุภาคนาโนซิลิกอนลงในวัสดุที่มีค่าคงคัวไดอิเล็กทริกสูง Integration of Silicon nanoparticles in high-k materials |
| Creator | จรรยา เจตนาเสน |
| Contributor | หัวหน้าโครงการ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ |
| Publication Year | 2558 |
| Keyword | silicon nanoparticles, electrochemical etching, quantum dot, sol-gel, high-k dielectric, nanotechnology |
