|
ผลของอัตราไหลแก๊สออกซิเจนต่อโครงสร้างของฟิล์มบางเซอร์โคเนียมออกซิไนไตรด์ที่เคลือบด้วยวิธี รีแอคตีฟ ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริง (Effect of O2 Flow Rate on Structure of Zirconium Oxynitride Thin Films Deposited by Reactive DC Magnetron Sputter |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | ผลของอัตราไหลแก๊สออกซิเจนต่อโครงสร้างของฟิล์มบางเซอร์โคเนียมออกซิไนไตรด์ที่เคลือบด้วยวิธี รีแอคตีฟ ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริง (Effect of O2 Flow Rate on Structure of Zirconium Oxynitride Thin Films Deposited by Reactive DC Magnetron Sputtering) |
| Creator | จินดาวรรณ ธรรมปรีชา |
| Contributor | หัวหน้าโครงการ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยราชภัฏพระนครศรีอยุธยา |
| Publication Year | 2557 |
| Keyword | เซอร์โคเนียมออกซิไนไตรด์;ฟิล์มบาง;รีแอคตีฟ สปัตเตอริง;อัตราไหลแก๊สออกซิเจน;โครงสร้าง (Zirconium Oxynitride;Thin Films;Reactive Sputtering;O2 Flow Rate;Structure) |
