|
การศึกษาสมบัติของฟิล์มบางนิกเกิล ที่เคลือบด้วยวิธีระเหยสาร ด้วยลำอิเล็กตรอนดีซีสปัตเตอริงและอาร์เอฟสปัตเตอริง /พนม กาศรุณ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การศึกษาสมบัติของฟิล์มบางนิกเกิล ที่เคลือบด้วยวิธีระเหยสาร ด้วยลำอิเล็กตรอนดีซีสปัตเตอริงและอาร์เอฟสปัตเตอริง / |
| Creator | พนม กาศรุณ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์, |
| Publication Year | 2550 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, นิเกิล, ดีซีสปัตเตอริง, อาร์เอฟสปัตเตอริง, การเคลือบฟิล์ม |