|
การศึกษาฟิล์มบางซิลิกอน ที่เคลือบด้วยกระบวนการดีซีสปัตเตอริง และอาร์เอฟสปัตเตอริง /จิระวัฒน์ เกลื้อนรัตน์ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การศึกษาฟิล์มบางซิลิกอน ที่เคลือบด้วยกระบวนการดีซีสปัตเตอริง และอาร์เอฟสปัตเตอริง / |
| Creator | จิระวัฒน์ เกลื้อนรัตน์ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์, |
| Publication Year | 2550 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, ซิลิกอน, ดีซีสปัตเตอริง, อาร์เอฟสปัตเตอริง, การเคลือบฟิล์ม |
