|
การปลูกฟิล์มบางนิเกิลเหล็กไนไตรด์ โดยอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบควบคุมเวลาก๊าซไวปฏิกิริยา /ชีวะ ทัศนา |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การปลูกฟิล์มบางนิเกิลเหล็กไนไตรด์ โดยอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบควบคุมเวลาก๊าซไวปฏิกิริยา / |
| Creator | ชีวะ ทัศนา |
| Publisher | สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง, |
| Publication Year | 2549 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, อาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง |
| ISBN | 974-15-2735-7 |