|
การวัดความขรุขระของผิวสเตนเลสโดยอินเตอร์ฟีรอมิเตอร์แบบไมเคลสัน |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การวัดความขรุขระของผิวสเตนเลสโดยอินเตอร์ฟีรอมิเตอร์แบบไมเคลสัน |
| Creator | วิรุณ เล้าพรพิชยานุวัฒน์ |
| Contributor | มนต์เทียน เทียนประทีป |
| Publisher | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย |
| Publication Year | 2551 |
| Keyword | ความหยาบผิว -- การวัด, อินเทอร์เฟียโรมิเตอร์, Surface roughness -- Measurement, Interferometers |
| Abstract | ความขรุขระของพื้นผิวเป็นหนึ่งในตัวแปรที่มีผลต่อความเสถียรภาพเชิงมวลของตุ้มน้ำหนัก-มาตรฐานที่ปกติใช้เป็นตัวถ่ายค่าทางด้านมวล อีกทั้งตุ้มน้ำหนักส่วนใหญ่ผลิตจากสเตนเลส 316 ดังนั้นในงานวิจัยนี้จึงเน้นวัดความขรุขระของพื้นผิวสเตนเลส 316 ด้วยอินเตอร์ฟีรอมิเตอร์แบบ ไมเคลสัน (MI) ที่มีซุปเปอร์ลูมิเนสเซนต์ไดโอด (SLD) ความยาวคลื่น 830 นาโนเมตร เป็นแหล่งกำเนิดแสง และเพราะความยาวอาพันธ์ของซุปเปอร์ลูมิเนสเซนต์ไดโอดที่สั้นในระดับไมโครเมตร ประกอบกับการใช้อินเตอร์ฟีรอเมตรีแบบปรับระยะ (VSI) ที่ใช้การประมวลผลแบบการแปลงเวฟเลทแบบต่อเนื่อง (CWT) ทำให้เราหาตำแหน่งในแนวแกน z ที่ละเอียดในระดับไมโครเมตรได้จากการหาตำแหน่งที่มีความเข้มสูงสุดของริ้วรอยการแทรกสอดได้ ในงานวิจัยนี้จึงใช้วิธี VSI ทดสอบวัดความขรุขระของพื้นผิวสเตนเลส 316 จำนวน 3 ชิ้น และเทียบกับผลการวัดที่ได้กับเครื่องมือมาตรฐานรุ่น SP-500 ของบริษัท TORAY พบว่าค่าอัตราส่วนอีเอ็นซึ่งเป็นค่าแสดงระดับการยอมรับตามมาตรฐาน ISO/IEC Guide 43-1 ของความขรุขระของวิธีวัดทั้งสองวิธีที่ได้จากการวัดตัวอย่างทั้ง 3 ชิ้นงาน มีค่าน้อยกว่าหรือเท่ากับ 1 ดังนั้นผลลัพธ์ที่ได้จาก VSI ด้วยวิธีการประมวลผลแบบ CWT จึงยอมรับได้ นอกจากนี้ ในตอนท้ายของงานวิจัยยังประยุกต์ใช้อินเตอร์ฟีรอเมตรีแบบเลื่อนเฟส (PSI) ด้วยวิธีการประมวลผลแบบเชิงอนุพันธ์ (DB) วิเคราะห์ริ้วรอยการแทรกสอดที่ได้จาก MI เพื่อวัดความลึกของชิ้นงานสำหรับวัดความลึกมาตรฐาน (DMS) ที่มีความลึกเท่ากับ 1.8 ไมโครเมตร จากผลการทดลองพบว่า วิธี PSI และการประมวลผลแบบ DB ช่วยลบริ้วรอยการแทรกสอดของสัญญาณให้หมดไป และทำให้ได้โค้งสหสัมพันธ์ของการแทรกสอดที่ขึ้นกับระยะตามแนวแกนที่เลื่อนไปของเพียโซอิเลกทริกแอคทูเอเตอร์ จากการประมวลผลตามลำดับภาพพบว่า ความลึกของ DMS หาได้จากตำแหน่งสูงสุดของโค้งสหสัมพันธ์ แต่ผลการทดลองพบว่า ค่าความคลาดเคลื่อนที่ได้จากการหาความลึกของ DMS ด้วยสมการตัวแทนข้อมูลในงานวิจัยนี้เทียบกับค่าจากโรงงานผู้ผลิตให้ผลคลาดเคลื่อนไป 55.6 เปอร์เซนต์ |
| URL Website | cuir.car.chula.ac.th |
