|
การพัฒนาระบบเคลือบฝังไอออนในพลาสมาที่ใช้เครื่องกำเนิดไอออนโลหะชนิดอาร์กในสุญญากาศ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การพัฒนาระบบเคลือบฝังไอออนในพลาสมาที่ใช้เครื่องกำเนิดไอออนโลหะชนิดอาร์กในสุญญากาศ |
| Creator | ปรีชา ตุ้มโท |
| Publisher | มหาวิทยาลัยเชียงใหม่, |
| Publication Year | 2545 |
| Keyword | ไอออน, พลาสมา, การชุบเคลือบผิวด้วยพลาสมา, ระบบเคลือบฝังไอออนด้วยพลาสมา |
