|
ผลของกระแสเซอร์โคเนียมคาโทดที่มีต่อสมบัติของฟิล์มบางโครเมียมเซอร์โคเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยเทคนิครีแอกทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | ผลของกระแสเซอร์โคเนียมคาโทดที่มีต่อสมบัติของฟิล์มบางโครเมียมเซอร์โคเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยเทคนิครีแอกทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง |
| Creator | สุรสิงห์ ไชยคุณ |
| Contributor | นิรันดร์ วิทิตอนันต์, อดิศร บูรณวงศ์ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยบูรพา |
| Publication Year | 2557 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, โครเนียมเซอร์โคเนียมไนไตรด์, กระแสสปัตเตอริง |
