|
ผลการอบชุบทางความร้อนต่อสมบัติทางกายภาพของฟิล์มบางไทเทเนียมไนไตรท์ที่เคลือบด้วยเทคนิครีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | ผลการอบชุบทางความร้อนต่อสมบัติทางกายภาพของฟิล์มบางไทเทเนียมไนไตรท์ที่เคลือบด้วยเทคนิครีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง |
| Creator | ธนัสถา รัตนะ |
| Contributor | อรรถพล เชยศุภเกตุ, นิรันดร์ วิทิตอนันต์, สุรสิงห์ ไชยคุณ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยบูรพา |
| Publication Year | 2556 |
| Keyword | ไทเทเนียมไนไตรต์, ฟิล์มบาง |
