|
เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ |
| Creator | สุรสิงห์ ไชยคุณ |
| Contributor | นิรันดร์ วิทิตอนันต์ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยบูรพา |
| Publication Year | 2556 |
| Keyword | เครื่องเคลือบในสุญญากาศ, ระบบระเหยสาร, ฟิล์มบางอะลูมิเนียม, ฟิล์มบางนาโน |