|
ผลของอัตราส่วนกระแสสปัตเตอร์ต่อฟิล์มไทเทเนียมอลูมิเนียมไนไตรด์ภายใต้การเคลือบโดยเทคนิคดีซีรีแอคทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Creator | สายัณห์ ผุดวัฒน์ |
| Title | ผลของอัตราส่วนกระแสสปัตเตอร์ต่อฟิล์มไทเทเนียมอลูมิเนียมไนไตรด์ภายใต้การเคลือบโดยเทคนิคดีซีรีแอคทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง |
| Contributor | พรพันธ์ ภารพ, กมล เอี่ยมพนากิจ, มติ ห่อประทุม, ธนัตถา รัตนะ |
| Publisher | กองบริหารการวิจัย |
| Publication Year | 2563 |
| Journal Title | วารสารวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี |
| Journal Vol. | 28 |
| Journal No. | 9 |
| Page no. | 1534-1544 |
| Keyword | TiAlN, โคสปัตเตอริง, กระแส, สมบัติทางแสง |
| URL Website | https://www.tci-thaijo.org/index.php/tstj |
| Website title | ThaiJo |
| ISSN | 0858-4435 |
