|
ผลของกำลังไฟฟ้าต่อโครงสร้างของฟิล์มบางเซอร์โคเนียม ไททาเนต ที่เคลือบด้วยวิธีดีซี แมกนีตรอน โคสปัตเตอริง |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Creator | จินดาวรรณ ธรรมปรีชา, กาญจนา สาธุพันธ์, นิรันดร์ วิทิตอนันต์, สุรสิงห์ ไชยคุณ |
| Title | ผลของกำลังไฟฟ้าต่อโครงสร้างของฟิล์มบางเซอร์โคเนียม ไททาเนต ที่เคลือบด้วยวิธีดีซี แมกนีตรอน โคสปัตเตอริง |
| Publisher | กองบริหารการวิจัย |
| Publication Year | 2561 |
| Journal Title | วารสารวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี |
| Journal Vol. | 26 |
| Journal No. | 2 |
| Page no. | 208-214 |
| Keyword | ฟิล์มบาง, เซอร์โคเนียมไททาเนต, กำลังไฟฟ้า, สปัตเตอริง |
| ISSN | 0858-4435 |
