|
การพัฒนาเครื่องเคลือบฟิล์มบางบนผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมา (Development of surface thin film coating system under vacuum pressure by microwave plasma) |
|---|---|
| รหัสดีโอไอ | |
| Title | การพัฒนาเครื่องเคลือบฟิล์มบางบนผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมา (Development of surface thin film coating system under vacuum pressure by microwave plasma) |
| Creator | ชูพงษ์ ภาคภูมิ |
| Contributor | หัวหน้าโครงการ |
| Publisher | มหาวิทยาลัยแม่โจ้ |
| Publication Year | 2559 |
| Keyword | เทคโนโลยีพลาสมา; การเคลือบผิว; ไมโครเวฟพลาสมา; ความดันสุญญากาศ |
